지올(JEOL Ltd.)이 새로운 탁상용 주사전자현미경(SEM)인 JCM-7000시리즈 네오스콥(NeoScopeTM)을 2019년 3월 중 출시한다고 발표했다.

제품 개발 배경

탁상용 주사전자현미경(SEM)은 전기, 전자, 자동차, 기계, 화학, 제약 업계 등 광범위한 분야에서 사용되고 있다. SEM애플리케이션은 연구 및 개발뿐만 아니라 제조 현장의 품질 관리와 제품 검사 부문으로 적용 범위를 넓히고 있다. 이 때문에 더욱 향상된 작업 효율성, 더 빠르고 용이한 작동, 더 높은 수준의 분석 및 계측 성능 등에 대한 요구가 높아지고 있다.

회사는 이처럼 높아지는 시장의 요구에 부응하여 매우 성공적이고 수상 경력이 있는 기존의 인터치스코프(InTouchScopeTM)시리즈SEM을 바탕으로 새로운 탁상용 SEM인 JCM-7000을 개발했다. JCM-7000시리즈는 인터치스코프 시리즈의 기능에 비교될 만큼 혁신적인 기능이 통합돼 있다. JCM-7000시리즈의 특징은 1) 고도의 작동성을 위한 단순한 그래픽 사용자 인터페이스(GUI), 2) 작은 밑바닥 면적, 3)’제로맥(Zeromag)’ 기능을 통한 광학 현미경 이미징에서 SEM이미징으로의 순조로운 전환, 4) ‘라이브 어낼리시스(Live Analysis)’ 기능을 통해 이미지를 관찰하면서 실시간 요소 분석, 5) 2축(X, Y) 모터라이즈 스테이지(motorized stage)를 통한 순조로운 작동 등이다.

뿐만 아니라 JCM-7000에는 실시간 SEM이미지와 재구성된 실시간 3D표면 이미지를 동시에 보여주는 ‘라이브3D(Live 3D)’ 기능이 있다. 또 이러한 새로운 기능은 표본에서 도형 및 심층적 정보와 함께 표본 표면에서 SEM 이미지 정보를 얻을 수 있게 한다.

▲ JCM-7000 네오스코프 탁상용 주사전자현미경

주요 특징

1. ‘제로맥’ 기능이 있어서 과거보다 더 쉽게 표본을 탐색할 수 있다. ‘제로맥’은 컬러 정보가 있는 전하결합소자(CCD) 이미지를 표면 상세 정보에 있는 SEM이미지와 연결시켜 영상화하고 분석할 부분을 신속하게 확인할 수 있게 한다.
2. 2축(X, Y) 모터라이즈 스테이지의 도움으로 작업 효율성이 향상되어 대면적 표본의 몽타주 이미지를 쉽게 수집할 수 있다.
3. 분석 시리즈(‘라이브 어낼리시스’ 기능)를 통해 내장형 EDS(전기적 다이 소팅)시스템이 이미지를 관찰하는 동안 EDS범위를 실시간으로 나타내 빠르고 효율적으로 요소를 분석할 수 있다.
4. 새로운 ‘라이브3D’ 기능이 있어서SEM이미지와 재구성된 3D표면 이미지를 실시간으로 관찰하면서 도형 및 심층적 정보를 동시에 확보할 수 있다.